Analizator ProtaR
Analizator gazów śladowych ProtaR (RGA) firmy Protea został wyposażony w minimalną elektronikę połączoną z maksymalną wydajnością w stosunku do RGA dostępnych na rynku.
Analizator ProtaR RGA firmy Protea to kompaktowy, stabilny i solidnie zaprojektowany kwadrupolowy spektrometr mas (QMS), zbudowany w oparciu o najnowszą technologię kwadrupolową. ProtaR to przydatne narzędzie analityczne do badania i analizy gazów śladowych w próbach szczelności, powlekania półprzewodników i zastosowaniach produkcyjnych, będący w stanie wykryć i zmierzyć prawie wszystkie gazy o niskich granicach wykrywalności i szybkich przemianach chemicznych. Spektrometr masowy wykonuje pomiary stosunku masy do ładunku cząsteczek w próbce, natomiast dzięki analizie widma masowego, możemy zidentyfikować i określić ilościowo, które cząsteczki są obecne w mieszaninie gazowej. QMS wbudowany w analizatorze ProtaR, zawiera filtr masowy składający się z 4 równoległych okrągłych prętów, stąd nazwa kwadrupol.
Bardzo szybki (milisekundowy) czas odpowiedzi.
Wykrywa prawie każdy gaz.
Niskie koszty utrzymania, odporny na korozję.
Zaawansowana chemometria do kwantyfikacji wielogazowej.
RGA jest oferowane z zaawansowanymi algorytmami analizy wielowymiarowej, takimi jak PLS, PCA.
Największa stabilność temperaturowa.
Próbkowanie 24-bitowe w standardzie.
Detektor Faradaya i C-SEM w standardzie.
6 krotny zakres dynamiczny.
Połączenie Ethernet, bezpośrednie lub kontrolowane przez sieć
Dane zapisywane w formacie .csv. Zapis widma w formacie .csv, .spc, .dx.
Oprogramowanie Windows z OPC, protokoły Modbus.
Przegląd zastosowania
Piece próżniowe.
Procesy półprzewodnikowe.
Metalurgia.
Badania i rozwój.
Procesy próżniowe.
Integracja z istniejącymi systemami próżniowymi.
ProtaR jest dostarczany z oprogramowaniem analitycznym PAS, służącym do konfiguracji RGA i analizy pików. Oprogramowanie pozwala na konfigurację jonizacji i ustawienie wzmocnienia. Skany widma mogą być wykonywane dla pojedynczej masy (wykrywanie nieszczelności), mas specyficznych (skoki masy) lub jako pełny skan analogowy, w zakresie mas RGA.
Widma masowe można wykreślić w skali liniowej lub logarytmicznej, jako a histogram lub wykres słupkowy oraz także jako widmo dopasowane do piku. Analiza dynamiczna może być stosowana w minimalnym zakresie, poprzez wykorzystanie analizy wysokości piku dla konkretnych mas. W ten sposób uzyskamy trend online w surowych jednostkach ciśnienia cząstkowego, prądu jonowego itp. Alternatywnie, analiza pełnej kwantyfikacji może być przeprowadzona wieloma metodami poprzez pik jednowymiarowy - kompensacja wysokości, pik wielowymiarowy CLS oraz pik wielowymiarowy PLS.
Specyfikacja | |
---|---|
Zakres masy | 0-100 amu, 0-200 amu (standard), 0-300 amu |
Detektor | Faradaya i C-SEM, oba w standardzie. |
Źródło jonów | Otwarte źródło jonów (standard). Zamknięte źródło jonów (opcja). |
Filamenty | Podwójny filament z automatycznym przełączaniem w przypadku awarii.Iryd powlekany Torią (standard). |
Rozdzielczość | 1 amu FWHH |
Minimalny próg detekcji | Faraday i C-SEM: 1 x 10-14mbar |
Maksymalne ciśnienie pracy | Faraday: 10-4 mbar, C-SEM: 10-5 mbar |
Temperatura max. QMS | 60°C (praca) 200°C (wypalanie, z wbudowanym elektrometrem). Opcja rozszerzania termicznego w przypadku wysokiej temperatury. |
Zakres temperatur elektroniki | 0 - 40°C |
Ustawienia wlotu jonów | Energia elektronów: -40 – -105 eV. Napięcie skupienia: 0 – -150 V. Energia jonów: 5 – 12 V.Prąd emisji: 0,5 mA – 3 mA.Opcja miękkiej jonizacji, prosimy o kontakt. |
Szybkość pomiaru | Skanowanie analogowe: 100 - 60 s/amu. Skok masy/szybkość przejścia: 100 ms. |
Głębokość wprowadzenia /długość całkowita | 220 mm/265 mm (zastosowanie rury ze stali nierdzewnej/ złączki osłonowej dla mniejszych głębokości wsunięcia). |
Kołnierz montażowy | DN40 CF |
Połączenie | 0° lub 90° |
Wymiary elektrometru | 137 x 110 x 101 |
Zasilanie | Napięcie z sieci: 24 VDC. Pobór mocy: <3 A. |
Waga | Analizator QMS – 900 g. Elektrometr – 1,5 kg (bez rurki ochronnej). |
We/wy | 1 x 0-10 V Dostępna blokada próżniowa. |